光刻機(jī)的工作原理
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文章出處：萬志宇責(zé)任編輯：HE
發(fā)表時間：2016-08-09 10:00:00
一般來說是用激光。比如說要在玻璃上刻蝕圖形，大致步驟為：清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑（即光刻膠有正性和負(fù)性之分）、干燥（固化）、曝光（方式很多，如激光直寫、通過掩模板同時曝光等）、去膠（光刻膠曝光后性質(zhì)發(fā)生光化學(xué)變化，去膠的方法也很多，如放在刻蝕劑中，用正性膠的話，被光照到的地方就會被溶解，沒有光照到的地方光刻膠保留下來，到這里就已經(jīng)在光刻膠上刻蝕出了所需圖形）、清洗、轉(zhuǎn)移
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