平行曝光燈
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文章出處：萬志宇責(zé)任編輯：HE
發(fā)表時間：2017-01-18 15:00:00
平行曝光燈
平行曝光燈是在高壓蒸氣中產(chǎn)生電弧發(fā)光的短弧燈，此類燈管具有高輻射、多線光譜、在紫外光區(qū)有較高的輻射能量、壽命長、高光學(xué)質(zhì)量等優(yōu)點，適用于全自動曝光系統(tǒng)和半導(dǎo)體生產(chǎn)光刻。質(zhì)量保證,保用800小時以上,長效型保用1500小時以上.該燈光譜范圍主要在325nm~450nm之間
適用于：臺灣志圣，川寶，群翊，日本ORC，HAKUTO，ADTECH，奧特瑪特等平行曝光機
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